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通过ISO9001质量管理体系认证，建设千级无尘生产车间，设备出厂质检合规率达100%，全面契合半导体制造高标准要求。
累计交付光刻与曝光设备超200台，落地覆盖国内30%省市及海外多国，头部客户复购率达30%，规模化应用经验成熟可靠。
全系双面对准精度≤0.5μm，兼容i/g/h紫外波段与多规格掩膜版，换模调试≤2分钟，精准满足微米级至亚微米级微纳加工需求。
拥有4000㎡标准化厂房与专属无尘调试间，标准机型年产能200台，定制机型100台，具备规模化与柔性化并行交付能力。
核心光学与控制部件自研自给率达30%，深度绑定10家战略供应商，采购交付周期缩短40%，保障核心零部件稳定供应。
布局苏州、北京、深圳等5大属地服务网点，配备超20名资深工程师团队，提供安装、调试、维保及工艺培训全周期技术支持。
产品介绍
淮安光刻机
淮安曝光机
我的优势
品类覆盖
集齐接触、接近、投影、无掩模等全工艺机型，覆盖4至12寸全尺寸晶圆，实现一站式产线配齐，客户外协采购成本降低30%。
精度领先
自研对位算法加持，双面对准精度≤0.5μm，较同价位国产同行提升150%，12寸机型精度对标中端进口设备，满足高精度制程。
成本优势
整机售价较进口同款低50%，核心部件自给率超行业均值40%，后期年维保费仅为进口设备三分之一，大幅降低全生命周期成本。
交付提速
依托自有产线与现货储备，标准机型90天、定制机型120天交付，较行业平均时效提速100%，精准匹配客户产线快速投产节点。
定制灵活
突破标准机改制瓶颈，支持掩膜规格、紫外波段及自动化程度专项定制，适配科研与特种场景，年均定制改机超20台且通过率100%。
属地响应
立足江苏辐射全国服务网点，省内24小时、省外48小时应急到场，配套免费工艺调试与上机培训，售后响应效率全面优于行业均值。